金属覆盖方法之一。在高真空容器中适量充入惰性气体（如氩），并仍维持相当高的真空度，接通负电压，使金属蒸发源（阳极）与镀件（阴极）之间产生辉光放电，建立起低电压气体放电的等离子区和阴极区；通电蒸发源使金属气化，金属蒸气进入等离子区后，在高速电子的轰击下部分电离，金属离子在电场作用下获得加速，射在镀件上而沉积成膜。离子镀膜与镀件（不论导体或非导体）的结合强度特别高，且在工艺过程中不产生废液，不污染环境。
