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汉语词典
离子束加工
离子束加工
离子束加工 lí zǐ shù jiā gōng
在真空条件下将惰性气体电离,并使正离子加速、集束和聚焦后投射到工件表面而去除金属或非金属材料的加工方法。可将材料的原子一层一层地剥落下来,从而实现“纳米级加工”。
离子
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