一种成分分析仪器。其原理是利用聚焦的高能电子束轰击固体表面，使被轰击区的元素激发出特征X射线，按其波长及强度进行定性或定量分析。主要分析固体表面微区的化学成分。可分析原子序数3～92号间的元素。分析面积小至1平方微米。此外，利用电子束轰击试样所产生的其他信息，可进行形貌观察和结构分析。广泛应用于地质、冶金、材料研究等部门。
