电子探针

电子探针   diàn zǐ tàn zhēn

一种成分分析仪器。其原理是利用聚焦的高能电子束轰击固体表面,使被轰击区的元素激发出特征X射线,按其波长及强度进行定性或定量分析。主要分析固体表面微区的化学成分。可分析原子序数3~92号间的元素。分析面积小至1平方微米。此外,利用电子束轰击试样所产生的其他信息,可进行形貌观察和结构分析。广泛应用于地质、冶金、材料研究等部门。

 

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