洁净室技术

使室内维持一定温度、湿度、静压和空气洁净度的技术。其中空气洁净度以洁净级别表示，例如，“100级”洁净室指室内空气中≥0.5微米的粒子在0.304 8立方米（1立方英尺）空气中不超过100粒（3.5粒/升）。该技术的基本手段是以空气调节技术为基础，强化空气过滤设施（如使用对0.3微米粒子具有99.97%过滤效率的高效过滤器）等来实施的。按控制对象可分为：(1)工业洁净室，用于微电子工业等，以控制尘粒为目标；(2)生物洁净室，如制药车间等，以控制微生物粒子为对象。按室内气流状态分有平行流洁净室和非平行流洁净室。日常运行管理也是洁净室技术的重要环节。