椭圆偏振仪

亦称“椭圆度计”。利用光在界面反射和折射时所引起偏振性质的改变来测定介质薄膜材料的厚度和折射率，以及研究界面表面性质的一种检测仪器。一般采用氦-氖激光器作为单色光源，光束先经过*起偏器和四分之一波片，以一定角度入射到被研究的介质薄膜上，然后用*检偏器及光电接收器来检定反射光的偏振态。从起偏振器和检偏振器的方位角以及给定的入射角条件可推算薄膜的厚度和折射率。常用于测量半导体表面的介质层和光致抗蚀剂的厚度。