扩散泵

扩散泵   kuò sàn bèng

利用蒸气流进行工作的一类真空泵。用油类作为蒸气源的,称为“油扩散泵”;用汞的称为“水银扩散泵”。工作时必须与前级泵(如*转动真空泵一同使用,应在前级泵把待抽容器抽到一定真空度(1~0.1帕)以后,扩散泵才开始工作,此时泵底的油经电炉加热化为蒸气,上升后在各级喷口内高速喷出,容器中的气体分子扩散到气流中去,被蒸气分子携带下降,压缩为较大的浓度而被前级泵抽出;油蒸气本身则受泵壳外水冷管的冷却而重新液化,回入油槽。这样周而复始,一般可使被抽容器内的真空度提高到102~105帕范围。使用经过特殊处理的扩散泵,还可得到超高真空(105帕以下)。除了油和汞以外,可用作扩散泵蒸气源的还有碘、石蜡等。