电子束加工

在真空条件下，利用高能量、大密度的电子束轰击工件，使被轰击部分的材料熔化、气化，从而形成所需的形状和尺寸的加工方法。因电子束截面极小，可在1微米直径范围内聚集高能量而产生高温，在极硬、极脆、耐高温的材料（如金刚石等）上制成微孔、复杂截面的孔、窄槽或进行切割。用于制造化学纤维喷丝模和加工半导体工业中的精密微型孔等。